für die Oberflächeninspektionfür Metrologie-Anwendungenzur Materialuntersuchuing
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Eigenschaften
Typ
Fixfokus
Anwendungstechnik
für Metrologie-Anwendungen, zur Inspektion von Halbleitern, zur Materialuntersuchuing, für die Oberflächeninspektion, für Produktionsanlagen, Oberflächenrauheit
Weitere Eigenschaften
hochauflösend, apochromatisch, kompaktes Design
Brennweite
4 mm (0,16 in)
Beschreibung
Produktübersicht
Neues Design passend zur WLI-Unit
Gewährleistet großen Arbeitsabstand bei kompakter und leichter Bauweise (parfokal 60 mm)
Hohe numerische Apertur (N.A. 0,50) für hohe Auflösung
Plan-Apochromat optische Korrektur
Strahlteiler und Referenzspiegel integriert im Objektiv
Standardmäßiger Mechanismus zur Einstellung der Interferenzfransen
Technische Daten
Modell: WLI Plan APO 25x
Vergrößerung: 25x
Numerische Apertur (N.A.): 0,50
Arbeitsabstand (W.D.): 3,6 mm
Brennweite (f): 4 mm
Parfokale Distanz (P.D.): 60 mm
Auflösungsvermögen (R): 0,55 µm
Anwendbare Tubuslinse Brennweite: 100 mm
Sichtfeld (2/3" Kamera): 0,26×0,35 mm
Sichtfeld (WLI-Unit): 0,29×0,22 mm
Glaskompensation: Nein
Spektralbereich: VIS
Beobachtung/Interferometertyp: Interferometer
Spiegeltubuslänge (ohne Befestigungsschrauben): 57 mm
Befestigungsschrauben: RMS / 20.32 mm ×36 TP
Außendurchmesser: 40 mm
Masse: 290 g
Anwendungen
Weißlichtinterferometrie und Oberflächenprofilometrie
Messung von Rauheit und Stufenhöhe
Dünnschichtinspektion und optische Metrologie in Produktionslinien
Bauteilprüfung in der Halbleitertechnik, Präzisionsmechanik und Werkstoffprüfung
Kompatibilität und Montage
Für die Verwendung mit einer 100 mm Tubuslinse ausgelegt
* Die Preise verstehen sich ohne MwSt., Versandkosten und Zollgebühren. Eventuelle Zusatzkosten für Installation oder Inbetriebnahme sind nicht enthalten. Es handelt sich um unverbindliche Preisangaben, die je nach Land, Kurs der Rohstoffe und Wechselkurs schwanken können.