Diese hochpräzisen Drucksensoren mit langanhaltender Stabilität, die auf der „Silicon-on-Sapphire“-Technologie oder Dehnungsmessstreifen basieren, wandeln den Druck in elektrische Signale um. Die Sensoren werden zu Messzwecken an verschiedene Messgeräte angeschlossen und dienen zur Anzeige, Aufzeichnung, Regelung und Überwachung des Drucks usw.
Merkmale
Direktdruck-Sensoren mit „Silicon-on-Sapphire“-Technologie (SOS)
Die Drucksensoren verfügen über eine dünne Siliziumschicht (epitaktisch gewachsen), die auf einer Saphirplatte (Al₂O₃-Einkristall) aufgebracht ist. Mithilfe dieser dünnen Siliziumschicht werden die elektrischen Widerstandsdrähte der Silizium-Halbleiter-Dehnungsmessstreifen direkt mit der Saphirplatte verbunden, wodurch ein idealer Sensor entsteht, der physikalisch und elektrisch äußerst stabil ist. In jeder H-IIA-Rakete kommen etwa 60 dieser Sensoren zum Einsatz.
Einsatz von selbst hergestellten Dehnungsmessstreifen
Durch den Einsatz selbst hergestellter Dehnungsmessstreifen, die sich durch eine langfristig stabile Leistung auszeichnen, gewährleistet MinebeaMitsumi eine stabile Versorgung mit hochwertigen, äußerst zuverlässigen Drucksensoren.
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