Halbautomatische Messanlage SPS-HP series

Hochpräzise halbautomatische Systeme - Motorisiertes XY-Futter, motorisierte Z-Bewegung des Futters in Standardkonfiguration. Motorisierte Theta-Bewegung ist eine Option. - Schrittmotorbasierte, lineare Encoder. - Kostengünstig für die Positionierungsspezifikationen. - Ideal für Kleinserienproduktion, Tests und Chrakterisierung. Spezifikationen - Wafer-Größe Bis zu 300 mm - Motor-Typ Schrittmotor - XY Verfahrweg des Tisches Bis zu 300mmx300mm - XY-Tisch Auflösung, Wiederholgenauigkeit Motorisiert, 0,15μm Auflösung, +/-1,2μm Wiederholbarkeit - XY-Geschwindigkeit (max) 50mm/s - Z-Geschwindigkeit (max.) 10mm/s - Verfahrweg der Aufspannplatte 12.7mm oder 25mm - Einstellung der Druckplatte Zweifache Grob- und Feineinstellung mit einer Wiederholgenauigkeit von mehr als 1µm - Planarität der Aufspannplatte <12,7μm über 200mm - Steifigkeit der Aufspannplatte <50μm für 4,5kg - Vakuum-Spannvorrichtung Multi-Zonen-Vakuum - Ebenheit der Aufspannplatte +/-13μm - Durchschlagsspannung der Spannvorrichtung Mindestens 500 V - Isolierung des Futters Mindestens 1GΩ - Futter-Einstellung 360° grob, +/-6° fein - Mikroskop Hochwertiges Stereo-Zoom mit bis zu 200 mm Arbeitsabstand und einer Vergrößerung von 3,5X bis 180X - Durchführungsklemmen BNC, Triax oder Bananenstecker - System-Abmessungen 101cm breit x91cm tief x 88cm hoch