Kryogen-Messanlage CPS-XXX-CF-PLUS

halbautomatisch

Die Modelle CPS-XXX-CF-PLUS ermöglichen das schnelle und kostengünstige Testen von Wafern und Bauelementen bei kryogenen Temperaturen bis zu 9K (Einzel-CCR-System), 4,5K (Doppel-CCR-System) oder sogar unter 4K (Dreifach-CCR-System). Wir bieten Systeme zum Testen von 100-, 150-, 200- oder 300-mm-Wafern mit optionalen Load-Lock-Funktionen. Die Systeme können mit einzelnen Sondenarmen (optional mit Wedge-Sonden) oder mit Sondenkartenhaltern konfiguriert werden. Eine hohe Probendichte mit >100 DC-Sonden ist möglich. Solche Systeme sind ideal für das aufstrebende Gebiet des Quantencomputings sowie für die etablierten Bereiche der supraleitenden Elektronik. Merkmale - Tastarme mit externer manueller Mikromanipulatorverstellung. - Mehrere CCR-Optionen. - Die Standardkonfiguration umfasst eine 7:1-Zoomröhre für eine Auflösung von mehr als 4 μm. 12.5:1- und 16:1-Zoomobjektive sind ebenfalls erhältlich. - Effiziente Schwingungsisolierung von Vakuumpumpenvibrationen. - Wahlweise passierbare und/oder aktive magnetische Abschirmung.