Infrarot-Emitter JSIR340-4-AL-R-D6.0-0-0

CMOSfür Gassensor

Der kosteneffiziente Infrarot-Emitter JSIR340-4 ist optimiert für die NDIR Gasanalyse und andere Infrarot Messanwendungen.Die Membran der cmOS basierten IR-Emitter erreicht Membrantemperaturen von bis zu 800 °C. Sie ermöglicht eine langzeitstabile Strahlungsleistung für industrielle Anwendungen zur Kontrolle und Überwachung von Prozessgasen,Begleitgasen bei Umgebungstemperaturen zwischen -20 und 85°C. Die Packaging Variante im Standard TO Gehäuse mit Kappe ist geeignet für Messstrecken bis zu 2 cm. Der in unseren IR Emittern verwendete MEMS-Chip besteht aus einer mehrschichtigen Heizplattenmembran, die eine hochtemperaturstabile Metall- C-MOSI-Schicht enthält. Der Emitter Chip hat eine aktive Fläche von 2.2 x 2.2 mm² und basiert auf einem Siliziumsubstrat mit einer rückseitig geätzten Membran. Alle Dünnschichtprozesse werden mit Standard-MEMS-Prozessen und cmOS-kompatiblen Materialien durchgeführt. Die aktive C-MOSI Widerstandsschicht ist gegen Alterungseinflüsse und Umwelt geschützt.