Interferometer zur Abstandsmessung interferoMETER 5400-DS

optischkompaktWeißlicht

Übersicht
Der interferoMETER IMS5400-DS ist ein Weißlicht-Interferometer für absolute Abstands- und Wegmessungen in industriellen Anwendungen. Das System bietet nanometergenaue absolute Messungen, einen vergleichsweise großen Grundabstand und unterstützt Multipeak-Auswertung für transparente und mehrschichtige Strukturen.

Hauptmerkmale

• Absolute Abstandsmessung mit Nanometer-Präzision, geeignet zur Kontrolle von Stufenprofilen
• Multipeak-Abstandsmessung für transparente Objekte (bis zu 14 gleichzeitige Distanzwerte bei MP-Modellen)
• Kompakte, robuste Sensoren; Varianten mit 90° Strahlengang erhältlich
• Messraten bis zu 6 kHz für Hochgeschwindigkeitsprozesse
• Robuster Controller mit passiver Kühlung und DIN-Schienenmontageoption
• Einfache Konfiguration über Webinterface (keine Softwareinstallation)
• Glasfaserleitungen bis 10 m zur Trennung von Sensor und Controller
• Flexible industrielle Integration mit vielfältigen Schnittstellen und E/A

Funktion / Leistung
Das IMS5400-DS führt absolute Abstandsmessungen mit nanometergenaue Auflösung durch und ermöglicht Multipeak-Auswertung zur Erkennung mehrerer reflektierender Flächen in transparenten oder geschichteten Proben. Hohe Abtastraten (bis zu 6 kHz) und ein kleiner Spotdurchmesser (≈10 µm) erlauben stabile Messungen von Profilen und feinen Details, auch auf bewegten Objekten. Der Controller sorgt für stabile Betriebsbedingungen durch passive Kühlung und aktive Temperaturkompensation; Parametrierung und Inbetriebnahme erfolgen über ein Webinterface.

Technische Spezifikationen

• Messprinzip: Weißlicht-Interferometrie (absolute Abstandsmessung)
• Auflösung/Genauigkeit: Nanometerbereich; typische Linearität ±50 nm (modellabhängig)
• Multipeak-Fähigkeit: bis zu 13–14 gleichzeitige Distanzwerte (modellabhängig)
• Messrate: bis zu 6 kHz
• Spot-Durchmesser: typ. ≈10 µm
• Grundabstand: vergleichsweise groß bei kompakter Sensorbauweise; 90° Varianten verfügbar
• Controller: robustes Metallgehäuse, passive Kühlung, DIN-Schienenmontage; intelligente Auswertefunktionen
• Konfiguration: Webinterface (kein Client-Software erforderlich)
• Schnittstellen: Ethernet, EtherCAT, RS422, analoge Ausgänge, Sync-Eingang, digitale I/O, Encoder-Eingang; PROFINET/EtherNet/IP über optionale Module
• Sensor-Controller-Trennung: Glasfaserkabel bis 10 m
• Typische Anwendungen: hochpräzise Abstand-/Wegmessung, Stufenprofilkontrolle, Dickenmessung von Glas, Inline-Integration sowie Reinraum/Vakuum-Anwendungen (VAC/UHV Varianten verfügbar)