Weißlicht-Interferometer interferoMETER
für OEM-Anwendungenzur sub-nanometrischen Wegmessungzur sub-pikometrischen zur sub-nanometrischen Wegmessung

Weißlicht-Interferometer
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Eigenschaften

Anwendung
für OEM-Anwendungen, zur sub-nanometrischen Wegmessung, zur sub-pikometrischen zur sub-nanometrischen Wegmessung, zur Dickemessung, zur Abstandsmessung
Merkmal
optisch, kompakt, Hochpräzision, Weißlicht

Beschreibung

Industrieoptimiert und mit einer Genauigkeit, die ein neues Präzisionslevel in der optischen Abstands- und Dickenmessung schafft – so präsentieren sich die neuen Weißlicht-Interferometer von Micro-Epsilon. Im Portfolio befinden sich für unterschiedliche Anwendungsfälle drei verschiedene Varianten des Interferometer. Die Systeme erzielen stabile Messergebnisse mit einer Subnanometerauflösung. Mit einer Auflösung von < 30 Pikometer erreichen die Messwerte des innovativen interferoMETER von Micro-Epsilon ein neues Präzisionslevel in der optischen Messtechnik. Je nach Anwendung stehen drei verschiedene Ausführungen zur Verfügung: das IMS5400-DS für hochpräzise und industrielle Abstandsmessungen, das IMS5400-TH für genaue Dickenmessungen und das IMS5600-DS mit vakuumtauglicher Ausführung für Abstandsmessungen in Sub-Nanometer-Genauigkeit. Das hochgenaue IMS5400-TH wird zur Dickenmessung von dünnen transparenten Materialien eingesetzt. Die Messung erfolgt mit nur einem Sensor unabhängig vom Abstand zum Messobjekt, wodurch Flattern oder Positionierunregelmäßigkeiten ignoriert werden können. Dank der nah-infraroten Lichtquelle können auch Dickenmessungen von anti-reflexbeschichtetem Glas durchgeführt werden. Das IMS5400-DS wird zur industriellen Abstandsmessung eingesetzt. Das Messsystem liefert absolute Messwerte und kann beispielsweise Stufen und Kanten zuverlässig und ohne Signalverlust erfassen. Und das IMS5600-DS ist für Abstandsmessungen im Reinraum und im Vakuum (bis UHV) konzipiert. Ein Sonderabgleich des Controllers ermöglicht eine Sub-Nanometer-Auflösung, die beispielsweise bei der Wafer-Ausrichtung oder bei der Stagepositionierung erforderlich ist.

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Messen

Sie können diesen Hersteller auf den folgenden Messen antreffen

Hannover 2024
Hannover 2024

22-26 Apr. 2024 Hannover (Deutschland) Halle 9 - Stand D05

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    * Die Preise verstehen sich ohne MwSt., Versandkosten und Zollgebühren. Eventuelle Zusatzkosten für Installation oder Inbetriebnahme sind nicht enthalten. Es handelt sich um unverbindliche Preisangaben, die je nach Land, Kurs der Rohstoffe und Wechselkurs schwanken können.