für Hochvakuumbedingungen bis zu 10^(-6) mbar
15 x 15 mm Grundfläche
Ultrakleine Miniaturverschiebetische mit piezoelektrischem Trägheitsantrieb. Vakuum-Ausgabe des MS15.
Technische Daten
Breite - 15 mm
Höhe - 7 mm
Tiefe - 15 mm
Max. Belastung (2 Achsen)
Mx, My, Mz (Schwungkraft) - 4 Ncm
Blockierkräfte (Fx, Fy) - 3 N
Lagerkraft (Fz) - 20 N
Genauigkeit der Lenkung
Gierwinkel - 20 Bogensekunden
Neigungswinkel - 60 Bogensekunden
Vertikale Abweichung - 1 um
Seitliche Abweichung - 2 um
---