Beschichtungsmaschine mit Breitschlitzdüse pontemSC

Hochpräzisionzur Herstellung von Dünnfilm

• Präzisions-Beschichtungsanlage für starre Substrate, hergestellt aus hochpräzisen, bewährten Industriekomponenten • Granitsockel für Steifigkeit und Schwingungsdämpfung • Ebenheit der Substrataufnahme ≤5 µm • Kundenspezifische Schlitzdüsen mit zu 650 mm Beschichtungsbreite • Motorische, programmierbare Höhenspaltverstellung mit einer Auflösung von 1 µm • Motorische, programmierbare Schichtversatzverstellung mit einer Auflösung von 1 µm • Motorisierte Bewegung der Substrataufnahme mit linearen Servoantrieben und Antriebsverstärkern • Synchronisierte Materialspritzenpumpe - (Option: mehrere Spritzenpumpen können gleichzeitig angesteuert werden) Hochpräzises automatisiertes S2S-Beschichtungssystem Das FOM pontemSC ist ein automatisiertes Slot-Die-Beschichtungssystem für High-End-Anwendungen, die eine hochpräzise Kontrolle der Beschichtung bei wiederholten Beschichtungsvorgängen erfordert. Vollständig integrierte Systemsteuerung Das FOM pontemSC verfügt über eine voll integrierte Systemsteuerung für die Schlitzdüse, die Pumpen und die Bewegung des Substrattisches. Die XY-Tische ermöglichen eine präzise Positionierung des Schlitzdüsenkopfes und des Substrats, während der Z-Tisch für eine besonders sanfte Beschichtungsbewegung optimiert ist. Ein Inline-Bogenzuführsystem ermöglicht mehrere aufeinanderfolgende Beschichtungen.