Profilometer mit Weißlichtinterferometrie MarSurf3D MS SX

3DKonfokalinterferometrisch

Übersicht
Die MarSurf3D MS SX Platform ist ein multisensorisches, flächenbasiertes 3D-Oberflächen-Messsystem, das Konfokal-, Weißlichtinterferometrie- und Fokusvariationsverfahren in einem Messkopf kombiniert. Die SX-Plattform ist für kleine Werkstücke mit Verfahrwegen/Achsen bis 200 mm optimiert und ermöglicht Oberflächenanalysen bis in den unteren Nanometerbereich.

Kombinierte Schlüsseltechnologien
Konfokal: Die patentierte Multi-Pinhole-Konfokaltechnologie ermöglicht extrem schnelle Bildaufnahmen mit hoher Signalqualität und sehr guter Wiederholbarkeit auf glatten bis rauen Oberflächen.

Interferometrie: Die Weißlichtinterferometrie liefert sub-nanometrische vertikale Auflösung unabhängig von der Vergrößerung – ideal für sehr glatte Oberflächen und ultra-präzise Stufenhöhenmessungen.

Fokusvariation: Die Fokusvariationsmesstechnik ist für die Geometriemessung großer, rauer Flächen ausgelegt. Sie erfasst steile Neigungen (bis ~86°) und bietet einen großen vertikalen Messbereich in einem Durchgang.

Typische Messaufgaben

• Rauheitsmessungen (ISO 21920 / ISO 4287 & ISO 13565 / ISO 25178)
• Topographie- und Volumenanalyse (Verschleiß, Tribologie)
• Kontur- und Formmessung (2D & 3D)
• Poren- und Partikelanalyse
• Fehlererkennung
• Stufenhöhen und sehr feine Oberflächenmerkmale bis in den unteren Nanometerbereich

Maximale Datenqualität
Das System ist auf hohe Präzision, Genauigkeit, Wiederholbarkeit und Reproduzierbarkeit ausgelegt und liefert vollständige Dokumentation zur Sicherstellung von Rückverfolgbarkeit und Auditierbarkeit. Es stellt quantitative Messwerte für Konstruktion, Produkt- und Prozessentwicklung sowie Qualitätskontrolle bereit.

Produktvorteile

• Korrekte, reproduzierbare Messung: zuverlässige Erfassung von Messdaten mit hoher Rohdaten- und Profilgenauigkeit.
• Breites Werkstückspektrum: materieunabhängige Messung für reflektierende, absorbierende, opake oder transparente Oberflächen.
• Intuitive Bedienung: geführte Benutzeroberfläche mit automatischen Modi und Messprotokollen für reproduzierbare Abläufe.

Art.-Nr. / Identifikation
Artikelnummer: 6350029

Technische Daten

• Bezeichnung / Produktfamilie: MarSurf3D MS SX Platform
• Marke: Mahr
• Artikel-Nr.: 6350029
• Vorgesehene Werkstückgröße: Verfahrwege/Achsen bis 200 mm
• Integrierte Messtechnologien: Konfokal (Multi-Pinhole), Weißlichtinterferometrie, Fokusvariation
• Vertikale Auflösung: sub-nanometrischer Bereich (Interferometrie-Niveau)
• Anwendbare Oberflächen: von sehr glatt (nm-Skala) bis sehr rau; erfasst steile Neigungen bis ~86° (Fokusvariation)
• Typische Messaufgaben: Rauheit (ISO 21920 / ISO 4287, ISO 13565 / ISO 25178), Topographie, Kontur/Form 2D & 3D, Poren-/Partikelanalyse, Fehlererkennung, Stufenhöhenmessung
• Benutzeroberfläche: geführte automatische Modi und Unterstützung von Messprotokollen für wiederholbare Bedienung
• Einsatzgebiet: flächenbasierte 3D-Oberflächenmesstechnik für kleine bis mittlere Werkstücke, geeignet für hochpräzise Labor- und Produktionsprüfungen