Automatische Beschichtungsmaschine SE series

Hochpräzision

1. Das identische 795-mm-Design der Vakuumkammern ermöglicht es dem Benutzer, die Position der Pumpe, der Gasabscheidung und der Kathodenkammern frei zu wechseln und so die Prozessflexibilität zu verbessern. 2. Das neue Design der Gasabscheidevorrichtung verhindert die Gasverschiebung zwischen den Kathodenkammern und erzielt einen besseren Gasabscheideeffekt. 3. Das stranggepresste Aluminium-Stützrohr isoliert den Magneten und sein Joch vom Kühlwasser, um die Veränderung des Magnetfelds durch langes Eintauchen in das Wasser zu vermeiden. 4. Ausgestattet mit 5-9 Verteiler Hilfsprozessgassystem und jeder könnte unterschiedlich sein, wie die Prozessanforderung 5. Hochpräzise Fördersteuerung kann durch Servomotoren gewährleistet werden. 6. Verringerung des Volumens der Eingangs- und Ausgangskammern zur Verbesserung der Effizienz und Senkung der Kosten. 7. Ein integrierter Kathodendeckel stellt eine perfekte Kombination dar, indem er Gasverteiler, Regler, Anschlüsse für die Stromversorgung und verschiedene Medien in einer "Box" unterbringt, um die Prozesskonfiguration flexibler zu gestalten. 8. Jede Kathode ist mit einem unabhängigen Kontrollsystem ausgestattet. 9. Das einteilige Deckeldesign kann das mechanische und hydraulische Heben leicht machen, um eine bessere automatische Kontrolle zu erreichen. 10. Durch die Verwendung von fortschrittlichen Magnetschwebebahn-Turbomolekularpumpen und Schraubenlinienpumpen wird die Verschmutzung durch das zurückfließende Öl verhindert und macht es zuverlässiger und effizienter.