Wafer-Belackungsanlage VTC-100PA

VTC-100PA ist ein CE-zertifiziertes Tischschleuderbeschichtungsgerät für die Beschichtung von kleinen Substraten bis zu 100 mm Durchmesser bei max. 10000 U/min. Der Antrieb des Schleuderkopfes ist ein Präzisions-DC-Servomotor mit genauer Geschwindigkeits- und Beschleunigungsregelung. Das Substrat kann durch Vakuum gehalten werden (für dünnere Objekte). Das Gerät verfügt über eine benutzerfreundliche Tastatur und ein LCD-Display zur Programmierung verschiedener Parameter, bis zu 12 Programme, 6 Segmente. Schleuderdauer, Schleudergeschwindigkeit und Beschleunigung können über die Frontplatte programmiert werden. Alle Komponenten des Geräts sind korrosionsgeschützt, um es reinraumtauglich zu machen. Wichtigste Merkmale 500 ~ 10000 RPM Schleuderdrehzahl programmierbar Akzeptiert Substrate von 5 mm bis 5" PP-Kammer für den korrosionsgeschützten Betrieb. Ein Gaseinlass auf der Oberseite der Abdeckung, die Inertgas während der Beschichtung füllen kann Eine 20ml Plastikspritze ist enthalten Geeignet für die Verwendung von Ar-Gas (Vakuumpumpe muss sich außerhalb der Glovebox befinden) Die Sicherheitsverriegelung ist in den Deckel integriert Vakuumspannvorrichtung und Vakuumpumpe Kammergröße: 150 mm Durchmesser 2 Sätze von PP Anti-Korrosions-Vakuum-Futter mit verschiedenen Größen (Φ44mm, Φ9mm), die Substrat von 5 mm bis 5" Durchmesser halten können (siehe Bild unten) Klicken Sie auf das Bild unten rechts, um ein Demo-Video zu sehen, in dem gezeigt wird, wie eine 9mm-Vakuum-Spannvorrichtung eine 5mm-Probe hält. Eine 120L/min ölfreie Vakuumpumpe ist im Standardpaket enthalten, bitte klicken Sie auf das Bild unten für die technischen Details. Programmierbare Steuerung Dauer bis zu 60 Sekunden Beschleunigung: 100 - 2000 U/min / sec einstellbar Genauigkeit: < 5% Digitales Bedienfeld kann 12 Programme speichern und jedes Programm hat 6 Segmente, die für Geschwindigkeiten, Beschleunigung und Schleuderdauer programmierbar sind (bitte klicken Sie auf das Bild unten rechts, um eine typische Programmeinstellung zu sehen)