Membran-Durchflussregler 3200 Massenfür Gas
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Eigenschaften
- Technologie
- Massen, Membran
- Flüssigkeit
- für Gas
- Druck
Min: 50.000 Pa
(7,252 psi)Max: 300.000 Pa
(43,511 psi)
Beschreibung
■Anwendbares Gas：N₂,Luft,H₂,He,Ar,O₂,CO₂ etc.
■Durchflussbereich：1SCCM～20SLM
■Genauigkeit：±1%F.S.
Regelung von Kleinstdurchflüssen ab F.S.1SCCM durch N₂-Umrechnung möglich.
Reduziertes Totvolumen dank des Membransitzventils.
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Mass Flow Controllers/Meters
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