Optisches Profilometer Zeta™-388

3Dmit WeißlichtinterferometrieRauheit

Das optische Auswerteprogramm Zeta-388 ist, Topographie-Maßsystem der Oberfläche 3D ein berührungsfreies. Die Gestalten Zeta-388 auf der Fähigkeit des Zeta-300 mit dem Zusatz eines Kassette-zukassettenlenkers für völlig automatisierte Maße. Das System wird durch patentierte ZDot™-Technologie und Optik in mehreren Betriebsarten angetrieben und ermöglicht Maß einer Vielzahl der Proben: transparent und undurchsichtig, niedrig zum hohen Reflexionsvermögen, machen Sie zur rauen Beschaffenheit und zu den Schritthöhen von Nanometer zu Millimeter glatt. Das Zeta-388 integriert sechs verschiedene optische Metrologietechnologien in einem konfigurierbaren und bedienungsfreundlichen System. ZDot™-Maßmodus sammelt gleichzeitig einen hochauflösenden Scan 3D und ein wahre Farbunbegrenztes Fokusbild. Andere Techniken des Maßes 3D umfassen Kontrastmikroskopie der weißen hellen Interferometrie, Nomarski-Störung und scherende Interferometrie. Dicke kann mit ZDot oder einem integrierten Breitbandreflectometer gemessen werden. Das Zeta-388 ist auch ein Spitzenmikroskop, das für Beispielbericht oder automatisierte Defektinspektion benutzt werden kann. Das Zeta-388 stützt R&D und Produktumwelt, indem es umfassende Schritthöhe, Rauheit und Dickenmaße, Defektinspektionsfähigkeit und Kassette-zukassettenoblatenbehandlung zur Verfügung stellt.