Optisches Profilometer Zeta™-20

3Dmit Weißlichtinterferometriefür Halbleiter

Das benchtop Zeta-20 optische Auswerteprogramm ist, Topographie-Maßsystem der Oberfläche 3D ein berührungsfreies. Das System wird durch patentierte ZDot™-Technologie und Optik in mehreren Betriebsarten angetrieben und ermöglicht Maß einer Vielzahl der Proben: transparent und undurchsichtig, niedrig zum hohen Reflexionsvermögen, machen Sie zur rauen Beschaffenheit und zu den Schritthöhen von Nanometer zu Millimeter glatt. Das Zeta-20 integriert sechs verschiedene optische Metrologietechnologien in einem konfigurierbaren und bedienungsfreundlichen System. ZDot™-Maßmodus sammelt gleichzeitig einen hochauflösenden Scan 3D und ein wahre Farbunbegrenztes Fokusbild. Andere Techniken des Maßes 3D umfassen Kontrastmikroskopie der weißen hellen Interferometrie, Nomarski-Störung und scherende Interferometrie. Dicke kann mit ZDot oder einem integrierten Breitbandreflectometer gemessen werden. Das Zeta-20 ist auch ein Spitzenmikroskop, das für Beispielbericht oder automatisierte Defektinspektion benutzt werden kann. Das Zeta-20 stützt R&D und Produktionsumwelt, indem es umfassende Schritthöhe, Rauheit und Dickenmaße zur Verfügung stellt, und setzt sich Inspektionsfähigkeit ab. Anwendungen Schritthöhe: Höhe des Schrittes 3D von Nanometer zu Millimeter Beschaffenheit: Rauheit 3D und Welligkeit auf glattem zu den sehr rauen Oberflächen Form: Bogen 3D und Form Druck: 2D Dünnfilmdruck Dicke: Stärke der transparenten Folie von 30nm bis 100µm Defektinspektion: Gefangennahmendefekte größer als 1µm Defektbericht: KLARF-Dateien werden benutzt, um zu den Defekten zu steuern, um Standorte der Oberfläche zu messen Topographie- oder Schreiberdefekt3d