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3D-Profilometer Tencor™ P-170
mit StylusRauheitTischgerät

3D-Profilometer
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Eigenschaften

Technologie
3D, mit Stylus
Funktion
Rauheit
Konfigurierung
Tischgerät

Beschreibung

Das Tencor P-170 ist ein Kassette-zu-Kassette-Profiler mit der branchenführenden Messleistung des P-17-Tischsystems und dem produktionserprobten Handler des HRP®-260. Diese Kombination bietet eine kostengünstige Lösung für ein handlerbasiertes System für die Halbleiter-, Verbindungshalbleiter- und verwandte Industrien. Das Tencor P-170 unterstützt 2D- und 3D-Messungen von Stufenhöhe, Rauheit, Wölbung und Spannung für Scans bis zu 200 mm ohne Stitching. Durch die Kombination des UltraLite®-Sensors, der konstanten Kraftregelung und des ultraflachen Scanningtisches wird eine hervorragende Messstabilität erreicht. Die Rezepteinrichtung ist schnell und einfach mit der Point-and-Click-Tischsteuerung, der Optik für die Ansicht von oben und von der Seite und einer hochauflösenden Kamera mit optischem Zoom. Das Tencor P-170 unterstützt 2D- und 3D-Messungen, wobei eine Vielzahl von Filter-, Nivellierungs- und Datenanalysealgorithmen zur Quantifizierung der Oberflächentopografie zur Verfügung stehen. Vollautomatische Messungen werden durch automatisches Wafer-Handling, Mustererkennung, Sequenzierung und Merkmalserkennung erreicht. Merkmale - Stufenhöhe: Nanometer bis 1000µm - Geringe Kraft mit konstanter Kraftkontrolle: 0,03 bis 50 mg - Scannen des gesamten Durchmessers der Probe ohne Stitching - Video: hochauflösende 5MP-Farbkamera - Bogen-Korrektur: Beseitigt Fehler aufgrund der Bogenbewegung des Tastereinsatzes - Software: Einfach zu bedienende Software-Schnittstelle - Produktionsfähigkeit: Vollständig automatisiert mit Sequenzierung, Mustererkennung und SECS/GEM - Wafer-Handler: Automatisches Laden von 75 mm bis 200 mm großen undurchsichtigen (z. B. Silizium) und transparenten (z. B. Saphir) Proben Anwendungen - Stufenhöhe: 2D- und 3D-Stufenhöhe - Textur: 2D- und 3D-Rauheit und -Welligkeit

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Kataloge

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* Die Preise verstehen sich ohne MwSt., Versandkosten und Zollgebühren. Eventuelle Zusatzkosten für Installation oder Inbetriebnahme sind nicht enthalten. Es handelt sich um unverbindliche Preisangaben, die je nach Land, Kurs der Rohstoffe und Wechselkurs schwanken können.