Lasermesssystem ATL™

Echtzeit

Overlay-Metrologie-Systeme Das ATL100™ (Accurate Tunable Laser) Scatterometrie-basierte Overlay-Metrologiesystem bietet Overlay-Kontrolle für Entwicklung und Großserienfertigung bei ≤7nm Designknoten. Die abstimmbare Lasertechnologie mit einer Auflösung von 1 nm, gepaart mit Echtzeit-Homing™, sorgt für eine hohe Overlay-Genauigkeit bei Schwankungen im Produktionsprozess. Der ATL100 unterstützt eine Vielzahl von Scatterometrie-Overlay-Messzielen, einschließlich In-Die und Small Pitch, und ermöglicht so eine genaue Overlay-Fehlermessung für verschiedene Prozessschichten, Bauteiltypen, Designknoten und Strukturierungstechnologien. Anwendungen On-product-Overlay-Kontrolle, Inline-Überwachung, Scanner-Qualifizierung, Patterning-Kontrolle, In-Die-Messungen Verwandte Produkte Archer: Bildgebende Overlay-Metrologiesysteme, die hochpräzise Overlay-Messungen für die Entwicklung und Großserienfertigung an den ≤1Xnm-Designknoten ermöglichen.