Temperaturmesssystem Thermal TRACK™ 5

Echtzeittragbarautonom

Das Thermal TRACK™ 5-Datenerfassungssystem unterstützt In-situ-Wafer-Temperaturmessungen mit den kabelgebundenen SensArray® Process Probe™-Instrumenten für Wafer. Das Thermal TRACK 5-System kombiniert die drahtlose Datenerfassungseinheit ISIS 5 (Intelligent Sensor Interface System) mit einem tragbaren persönlichen digitalen Assistenten zur Echtzeit-Visualisierung und Protokollierung von Daten zur Charakterisierung von Temperaturprofilen. Durch die Bereitstellung informativer grafischer Darstellungen der Wafertemperatur während des Hochfahrens, des eingeschwungenen Zustands und der Abkühlung bietet Thermal TRACK 5 eine schnelle und kostengünstige Methode für die Verwaltung der meisten Prozesse. Dieses tragbare System bietet eine hohe Genauigkeit, Präzision und Auflösung sowohl für instationäre als auch für stationäre Messungen und liefert wichtige Daten für Fertigungsingenieure zur Kalibrierung und Überprüfung von Temperatursollwerten und zur Durchführung vordefinierter präventiver Wartungsprüfungen. Anwendungen Überwachung von Prozesswerkzeugen