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Optisches Profilometer Tencor™ P-17
3Dmit Styluszur Dünnschicht-Analyse

optisches Profilometer
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Eigenschaften

Technologie
optisch, 3D, mit Stylus
Funktion
Rauheit, zur Dünnschicht-Analyse
Konfigurierung
Tischgerät

Beschreibung

Das Tencor P-17 ist ein Tisch-Tasterprüfgerät der achten Generation, das auf über 40 Jahren Erfahrung in der Oberflächenmesstechnik aufbaut. Dieses branchenführende System unterstützt 2D- und 3D-Stufenhöhenmessung, Rauheit, Wölbung und Spannung für Scans bis zu 200 mm ohne Stitching. Durch die Kombination eines UltraLite®-Sensors, einer konstanten Kraftregelung und eines ultraflachen Scanningtisches wird eine hervorragende Messstabilität erreicht. Die Rezepteinrichtung ist dank der Point-and-Click-Tischsteuerung, der Optik für die Ansicht von oben und von der Seite und einer hochauflösenden Kamera mit optischem Zoom schnell und einfach. Das Tencor P-17 Tasterprofilometer unterstützt 2D- oder 3D-Messungen mit einer Vielzahl von Filter-, Nivellierungs- und Analysealgorithmen zur Quantifizierung der Oberflächentopografie. Vollautomatische Messungen werden durch Mustererkennung, Sequenzierung und Merkmalserkennung erreicht. Merkmale - Stufenhöhe: Nanometer bis 1000µm - Geringe Kraft mit konstanter Kraftkontrolle: 0,03 bis 50 mg - Scannen des gesamten Durchmessers der Probe ohne Stitching - Video: hochauflösende 5MP-Farbkamera - Bogen-Korrektur: Beseitigt Fehler aufgrund der Bogenbewegung des Tastereinsatzes - Software: Einfach zu bedienende Software-Schnittstelle - Produktionsfähigkeit: Vollständig automatisiert mit Sequenzierung, Mustererkennung und SECS/GEM Anwendungen - Stufenhöhe: 2D- und 3D-Stufenhöhe - Textur: 2D- und 3D-Rauheit und -Welligkeit - Form: 2D- und 3D-Bogen und -Form - Spannung: 2D- und 3D-Dünnschichtspannung - Defekt-Übersicht: 2D- und 3D-Defektoberflächentopographie

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Kataloge

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* Die Preise verstehen sich ohne MwSt., Versandkosten und Zollgebühren. Eventuelle Zusatzkosten für Installation oder Inbetriebnahme sind nicht enthalten. Es handelt sich um unverbindliche Preisangaben, die je nach Land, Kurs der Rohstoffe und Wechselkurs schwanken können.