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Laser-Profilometer VK-X4000
optisch3DKonfokal

Laser-Profilometer - VK-X4000 - KEYENCE - optisch / 3D / Konfokal
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Eigenschaften

Technologie
optisch, 3D, Laser, mit Weißlichtinterferometrie, Konfokal
Funktion
Oberflächenrauheit, zur Dickemessung
Verwendung
für Halbleiter
Merkmal
Industrie, Labor
Weitere Eigenschaften
kontaktlos, automatisch, Multisensor

Beschreibung

Übersicht
Die VK-X4000-Serie ist ein 3D-optisches Profilmikroskop, das Laser-Confokal, Weißlichtinterferometrie (WLI) und Fokusvariation in einer Metrologieplattform vereint und berührungslose, hochpräzise Messungen von Oberflächen und Topographien ermöglicht. Das System unterstützt automatisierte Mehrpunkt-Routinen und die Erkennung mehrerer Merkmale zur Steigerung des Durchsatzes bei geringem Einrichtungsaufwand.

Hauptmerkmale
  • Drei Messprinzipien in einem Gerät: Laser-Confokal, WLI und Fokusvariation für breite Material- und Geometrieabdeckung.
  • Automatisierte Mehrpunktmessung: Zielkoordinaten und Vergrößerungen festlegen für unbeaufsichtigte Chargenmessungen.
  • Automatische Mehrmerkmalmessung: Zielmerkmale erkennen und Messbedingungen automatisch anwenden für konsistente Ergebnisse.
  • AI-Analyzer: bewertet Dutzende Oberflächenparameter und hebt die Metriken hervor, die Proben am besten unterscheiden, zur Beschleunigung der Analyse.
  • Hohe Vielseitigkeit: geeignet für Metalle, Folien, Kunststoffe, Halbleiter, medizinische Bauteile und weitere Materialien.


Messprinzipien und Stärken
  • Laser-Confokal: geeignet für komplexe Formen und unterschiedliche Materialien, liefert lokalisierte 3D-Daten bei schwierigen Geometrien.
  • Weißlichtinterferometrie (WLI): bietet subnanometrische vertikale Auflösung für sehr feine Oberflächendetails und präzise Dickenmessungen.
  • Fokusvariation: erfasst feine Texturen über größere Flächen und ergänzt andere Methoden, wenn Transparenz oder Neigung die Leistung einschränken.


Mehrpunkt-/Automatisierte Messung
  • Mehrere Messpunkte durch Zielauswahl konfigurieren; das System übernimmt Positionierung und Objektivwahl automatisch.
  • Chargenmessungen über mehrere Proben und Bereiche ohne wiederholte manuelle Einrichtung durchführen, wodurch Zykluszeiten und Bedienerstreuung verringert werden.


AI-Analyzer / Rauheitsanalyse
Der AI-Analyzer vergleicht zahlreiche Oberflächenparameter (z. B. Ra, Rz und ISO-Standardmetriken), um zu ermitteln, welche Parameter Probenunterschiede am deutlichsten darstellen, und vereinfacht so die Auswahl geeigneter Rauheitskennwerte und die Interpretation der Ergebnisse.

Anwendungen & Vorteile
  • 3D-Oberflächenprofilierung und Rauheitsanalyse für Elektronik, Präzisionsfertigung, Folien und Beschichtungen, Medizinprodukte, Kunststoffe u. a.
  • Ermöglicht inspections mit hohem Durchsatz durch reproduzierbare, automatisierte Routinen für Qualitätskontrolle und Vergleichsstudien.
  • Kombiniert komplementäre Messmethoden zur Bewältigung nahezu jeder Oberfläche — von glatten Folien bis zu rauen, komplexen Geometrien.


Technische Daten
  • Handelsbezeichnung: VK-X4000 series
  • Messprinzipien: Laser-Confokal, Weißlichtinterferometrie (WLI), Fokusvariation
  • WLI-vertikale Auflösung: subnanometrisch (für sehr feine Oberflächendetails)
  • Mehrpunktmessung: automatisierte Koordinatenauswahl und Chargenmessung über Proben
  • AI-Analyzer: automatischer Vergleich mehrerer Oberflächenparameter zur Erkennung wesentlicher Unterschiede
  • Automatisierte Mehrmerkmalmessung: automatische Anwendung von Messbedingungen auf erkannte Merkmale
  • Geeignete Materialien: Metalle, Folien, Kunststoffe, Halbleiterbauteile, medizinische Teile usw.
  • Hauptanwendungsfälle: 3D-Oberflächenprofilierung, Rauheitsanalyse, Filmdickenbewertung, vergleichende Oberflächenanalyse, automatisierte Inspektion mit hohem Durchsatz

Kataloge

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Messen

Sie können diesen Hersteller auf den folgenden Messen antreffen

IMTS 2026
IMTS 2026

14-19 Sep. 2026 Chicago (USA - Illinois) Halle East Level 3, North Level 3 - Stand 134129, 236225

* Die Preise verstehen sich ohne MwSt., Versandkosten und Zollgebühren. Eventuelle Zusatzkosten für Installation oder Inbetriebnahme sind nicht enthalten. Es handelt sich um unverbindliche Preisangaben, die je nach Land, Kurs der Rohstoffe und Wechselkurs schwanken können.