Sensor für einen Quarzoszillator-Filmdickenregler mit 6 oder 12 Quarzen
Dient zur Messung der Schichtdicke und der Schichtbildungsrate bei der Dünnschichtverarbeitung.
Wenn ein Kristall ausfällt, kann der Sensor durch Umschalten auf den nächsten Kristall weiter verwendet werden.
Da sich die Detektoröffnung an einer festen Position befindet, ist es nicht erforderlich, den Tooling-Faktor für jeden Kristallwechsel zu ändern.
Es gibt 2 Arten von Sensorköpfen: flach und 45°. Diese können je nach Einbaulage selektiv eingesetzt werden.
Geeignet für langfristige, hochvolumige Vakuumabscheidungs- oder Sputterprozesse.
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