Spektroskopischer Ellipsometer theta-SE

Das theta-SE ist ein spektroskopisches Ellipsometer auf Knopfdruck zur Charakterisierung der Gleichmäßigkeit dünner Schichten. Es bietet fortschrittliche Ellipsometrie-Instrumente in einem kompakten Paket zu einem erschwinglichen Preis. Vollständig integriert Das theta-SE ist mit einer 300-mm-Probenabbildung, einem Small-Spot-Messstrahl, einer schnellen Probenausrichtung, einer Look-down-Kamera und unserer neuesten Dual-Rotation-Ellipsometertechnologie ausgestattet. Das theta-SE hat alles, was Sie zur Messung der räumlichen Einheitlichkeit Ihrer Schichtdicke und optischen Eigenschaften benötigen. Hohe Geschwindigkeit Der Probendurchsatz wird durch die schnelle Punkt-zu-Punkt-Translation, die Hochgeschwindigkeits-Probenausrichtung und die Dual-Rotation-Ellipsometer-Technologie für eine kontinuierliche Datenerfassung optimiert. Kompakt Der patentierte Dual-Theta-Rotationstisch ermöglicht eine vollständige 300-mm-Abbildung in einem kleinen Tischgerät. Die Grundfläche des Geräts ist nur wenig größer als ein 300-mm-Wafer. Benutzerfreundlich Die automatisierte Datenanalyse und die integrierte Berichterstellung ermöglichen eine Bedienung auf Knopfdruck und einen schnellen Zugriff auf die Messergebnisse. Erschwinglich Das theta-SE bietet die Leistungsfähigkeit der spektroskopischen Ellipsometrie und der 300-mm-Homogenitätsabbildung zu einem günstigen Preis.