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Vorzentrierungsmodul
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Beschreibung
1-Achs Logosol Prealigner "Embedded"
Die Logosol Prealigner sind innovative, hochpräzise, Klasse 1 kompatible Logosol Prealigner-Lösungen mit integrierter Scan-Elektronik.
Die Logosol Prealigner sind geschützte Produkte von Logosol, Inc. USA www.logosolinc.com
Merkmale
Ausrichtzeiten <2,5 Sekunden
Berührungslose Messung mittels LEDund CCD-Sensor
Integrierte Mess-Elektronik
Chuck Load
Wechsel auf eine andere Wafergröße ohne Umbau
Transparente, halbtransparente,gelochte und undurchsichtige Waferausrichtbar
SEMI, Flat und NotchWafer-Spezifikationen
Für Wafergrößen von 3" bis 18"
Anschlussfelder seitlich und von unten lieferbar
Kataloge
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* Die Preise verstehen sich ohne MwSt., Versandkosten und Zollgebühren. Eventuelle Zusatzkosten für Installation oder Inbetriebnahme sind nicht enthalten. Es handelt sich um unverbindliche Preisangaben, die je nach Land, Kurs der Rohstoffe und Wechselkurs schwanken können.