- Mechanik - Antriebstechnik
- Aktuator und Positioniersystem
- XY-Positioniertisch
- IntelLiDrives, Inc.
XY-Tisch XY-OF-UL-200x200+ACR160UTdrehbar2-Achsopen frame
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Eigenschaften
- Ausrichtung
- XY, drehbar
- Achszahl
- 2-Achs
- Weitere Eigenschaften
- open frame, für Wafer-Handling
- Hub
200 mm
(7,874 in)- Geschwindigkeit
400 mm/s, 800 mm/s
Beschreibung
Öffnen-Rahmen XY-Drehstadien entwarfen mit einem niedrigen Profil für die Oblatebehandlung und vielen anderen automatisierten genauen in Position bringenanwendungen in verarbeitendeen Fertigungsindustrien des Halbleiters. Der XY Antriebsmechnismus, der auf der Seite der Maßeinheit gelegen sind und die große Mitte Bohrung-durch Drehtabelle bieten einen freien Raum unobstruced Zugang zur Oblate an.
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OPEN FRAME XY-ROTARY SYSTEMS
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