Elektronik- und Halbleitermodulprüfung E-LIT
* Analyse von Elektronik- und Halbleiterbauelementen
* Modularer Messplatz für Online Lock-In-Messungen
* Zuverlässige Erkennung von thermischen Auffälligkeiten im mK- und μK-Bereich
* Räumliche Lokalisierung von Defekten in mehrlagigen Leiterplatten und Multi-Chip-Modulen
* Nutzung von Thermografiesystemen mit gekühlten und ungekühlten Detektoren
* Bediensoftware IRBIS® 3 active mit umfangreichen Analysemöglichkeiten unter Laborbedingungen
Das automatisierte Prüfsystem E-LIT erlaubt bereits während des Herstellungsprozesses eine berührungslose Fehlerinspektion an Halbleitermaterialien. Ungleichmäßige Temperaturverteilungen und lokale Energieverluste können mittels des speziellen Lock-In-Verfahrens und einer leistungsfähigen Thermografiekamera in kürzesten Prüfzeiten detektiert werden.
Die Stromversorgung ist für diesen Prozess mit einem Synchronisationsmodul getaktet. Sogar Fehler, die lediglich mK- oder μK-Abweichungen hervorrufen, können verlässlich detektiert werden.
Kleinste Defekte, wie Punkt- und Linienkurzschlüsse, Oxidations-, Transistor- und Diodenfehler auf einer Leiterplattenoberfläche sowie in Schaltkreisen können exakt zweidimensional detektiert und dargestellt werden. Durch eine Veränderung der Lock-In-Frequenz lassen sich Fehler in Stacked-Die-Packages oder Multi-Chip-Modulen sogar räumlich lokalisieren.
Vorteile des modularen Messplatzes
- Online Lock-In-Messung mit höchster Empfindlichkeit
- Vollständige und präzise mikroskopische Analyse
- Geometrische Auflösung bis zu 1,3 μm mit Mikroskopobjektiven
- Thermische Auflösung im Mikrokelvinbereich
- Mehrschichten-Analyse