Spannungsmessgerät Octiv Suite 2.0 VI Probe

AC-StromImpedanzRF

Die RF-Diagnose (VI-Sonde) der Octiv Suite ist ein HF-Inline-Diagnosesystem für Spannung, Strom, Phase, Oberschwingungen und Plasma. Es kann alle Parameter der HF-Leistung messen, sie auf ihre einzelnen Komponenten herunterbrechen und die Wellenform mehrerer Grundfrequenzen gleichzeitig rekonstruieren. Dieses hochmoderne System kann auch Plasmaparameter wie den Ionenfluss messen, indem es die HF-Elektrode als Sensor verwendet. Die Octiv Suite ist wirklich eine Klasse für sich, wenn es um die Energiebereitstellung in einem Plasmareaktor geht. Die Octiv Suite misst Spannung, Strom, Phase, Impedanz und Oberschwingungen und die Messungen können von einem PC aus oder direkt an der Messstelle betrachtet werden. Das RF-Diagnosesystem (VI Probe) der Octiv Suite ermöglicht es dem Benutzer, eine Reihe von Grundfrequenzen zu messen und alle harmonischen Informationen jedes gleichzeitig gemessenen Parameters zu extrahieren, während mehrere Wellenformen rekonstruiert werden Die Octiv Suite ist eine einzigartige Spitzentechnologie, mit der Wissenschaftler komplexe Zusammenhänge von HF-Parametern in Bereichen wie der Plasmaprozessleistung bewerten können. Die Octiv Suite misst und zeigt die komplexe Wellenform an. Die Software extrahiert und analysiert die wichtigsten HF-Parameter wie Spannung, Strom und Phase aller komplexen Komponenten, die die Wellenform ausmachen. Die RF-Diagnostik (VI-Sonde) der Octiv Suite kann zur Diagnose von Plasmaparametern wie Ionenfluss, Plasmabeständigkeit und nichtlinearer Mantelimpedanz eingesetzt werden. Die Octiv Suite wird eine nichtlineare Last mit mehreren Grundfrequenzen, hohen harmonischen und intermodulatorischen Komponenten charakterisieren.