LCD-Monitor
CS-100F4

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LCD-Monitor LCD-Monitor - CS-100F4
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Eigenschaften

  • Technologie:

    LCD

Beschreibung

Das CS-100F4 ist ein neues Systemkonzept, das die chemische Mehrpunktmessung in einem einzigen Gerät ermöglicht. Der CS-100F4 erweitert die Produktpalette der CS-Serie von HORIBA, die für ihre hochpräzise Konzentrationsüberwachung der verschiedenen Chemikalien, die in den Ätz- und Reinigungsprozessen der Halbleiterfertigung verwendet werden, bekannt ist. Die Probenahmezellen (bis zu vier Punkte) sind über ein Glasfaserkabel direkt mit der internen Verrohrung der Reinigungseinheit verbunden und die Übertragung der optischen Signale ermöglicht eine Inline-Echtzeitmessung. Diese Mehrpunkt-Inline-Messung verbessert nicht nur die Kosteneinsparungen und die Raumausnutzung, sondern ermöglicht auch eine optimale Kontrolle der vielen Chemikalien, die in Ätz- und Reinigungsprozessen für Halbleiter verwendet werden.

Dies ist eine automatische Übersetzung.  (Sehen Sie hier den englischen Originaltext.)