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Laserinspektionssystem NS7000 seriesOberflächen
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Eigenschaften
- Technologie
- Laser
- Typ
- Oberflächen
Beschreibung
Ein hochpräzises Oberflächeninspektionssystem für Substrate und Scheiben mit einer ausgefeilten Fehlerklassifizierungsfunktion durch Laserbestrahlung von mehreren Dearings und einer neu entwickelten Methode für schräge Fehler.
- Erkennung kleinster Fehler mit hoher Empfindlichkeit durch Defektmethode.
- Inspektion auf derselben Spindel mit mehreren Optiken.
- Reflektometer- und Scatterometer-Methode.
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Messen
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* Die Preise verstehen sich ohne MwSt., Versandkosten und Zollgebühren. Eventuelle Zusatzkosten für Installation oder Inbetriebnahme sind nicht enthalten. Es handelt sich um unverbindliche Preisangaben, die je nach Land, Kurs der Rohstoffe und Wechselkurs schwanken können.