Automatisches Probenvorbereitungssystem
für SEM

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Eigenschaften

Verwendungsmodus
automatisch
Anwendung
für SEM

Beschreibung

Dieses Gerät dient der Vorbereitung des gewünschten Waferteils für die Analyse mit STEM, TEM usw. durch Extraktion einer Mikroprobe mit einem Ionenstrahl in der Vakuumkammer eines FIB-Systems. FIB-Mikroprobenentnahmegerät und FIB-Mikroprobenentnahmeverfahren Ein Beispiel für die FIB-Mikrosäulen-Probenahme Eine Mikrosäulenprobe, die einen Analysepunkt enthält, wird direkt aus einem Halbleiterbauelement herausgeschnitten. Mikroproben werden in verschiedenen Formen ausgeschnitten oder getrimmt, indem die Einfallsrichtung der FIB variiert wird. Ein neu entwickeltes System zur Bewertung von Halbleiterbauelementen besteht aus einem FB2200 FIB-System und einem HD-2700 200 kV STEM. Das System führt die Suche nach defekten Stellen bis hin zur Analyse der Struktur im Subnanometerbereich innerhalb weniger Stunden durch.

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Messen

Sie können diesen Hersteller auf den folgenden Messen antreffen

analytica 2024
analytica 2024

9-12 Apr. 2024 München (Deutschland) Halle A2 - Stand 113

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    36th Control 2024
    36th Control 2024

    23-26 Apr. 2024 Stuttgart (Deutschland) Stand 7103

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    * Die Preise verstehen sich ohne MwSt., Versandkosten und Zollgebühren. Eventuelle Zusatzkosten für Installation oder Inbetriebnahme sind nicht enthalten. Es handelt sich um unverbindliche Preisangaben, die je nach Land, Kurs der Rohstoffe und Wechselkurs schwanken können.