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Eigenschaften
- Funktion
- Datenanalyse, Mess, Projektentwicklung, Entwicklung
- Anwendung
- SEM
Beschreibung
RezepturDirektor:
Automatische Erstellung von CD-SEM-Rezepten unter Verwendung von Designdaten
DesignGauge-AnalyzerPlus:
Erweiterte Datenanalysestation für CD-SEM-Bilder
- Die Verwendung von Designdaten im RecipeDirector ermöglicht die automatische Einstellung der Koordinaten von Adressierungspunkten, Autofokuspunkt und Messcursorboxen ohne spezielles Know-how
- Dies führt zu einer schnellen Rezepterstellung und Verbesserung der CD-SEM Verfügbarkeit
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Messen
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CD-SEM & Defect Inspection
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