Automatisches Probenvorbereitungssystem ArBlade 5000

für SEMIonenstrahlätzen

Das fortschrittlichste System mit breitem Ionenstrahl zur Herstellung von Querschnitts- oder Flachfräsproben für die Elektronenmikroskopie in außergewöhnlich hoher Qualität. Das ArBlade 5000 ist mit einer schnell fräsenden Ar-Ionenkanone mit einer doppelt so hohen Fräsrate für Spitzenleistungen ausgestattet, wodurch die Bearbeitungszeit für die Querschnittspräparation drastisch reduziert wird. *1Si ragt 100 um über den Maskenrand hinaus. Vergleich des Querschnittsfräsens (Probe: Mine für Druckbleistift, Fräszeit: 1,5 Stunden) Querschnittsbreiten bis zu 8 mm! Für großflächige Fräsanforderungen, wie z. B. bei elektronischen Geräten, wurde ein revolutionäres Querschnittsfräshalterdesign für die Herstellung größerer Flächen entwickelt. Beispiel für großflächiges Querschnittsfräsen (Probe: elektronisches Bauteil, Fräszeit: 5 Stunden) Hybrid-Modell: Dual-Milling-Konfiguration verfügbar Das völlig neue Ionenfrässystem ist sowohl mit Querschnittsfräsen als auch mit Flachfräsen für die komplexesten Anwendungsanforderungen ausgestattet. Das ArBlade 5000-System ist mit mehreren Haltern ausgestattet und eignet sich für eine breite Palette von Anwendungen. Querschnittsfräsen Zur Herstellung breiterer, unverzerrter Querschnitte ohne mechanische Beanspruchung der Probe Flaches Fräsen Zum Entfernen von Artefakten der Oberflächenschicht und zur Endpolitur nach herkömmlichen mechanischen Polierverfahren. Die kryogenen Versionen des ArBlade 5000 bieten eine aktive Kühlung des Querschnittsfrästisches während der Probenbearbeitung. Ein integrierter Flüssigstickstoff-Dewar, der mit dem Querschnittstisch verbunden ist, führt die beim Ionenstrahlfräsen entstehende Wärme effektiv von der Abschirmmaske und der Probe ab.