Automatisches Probenvorbereitungssystem MC1000

für SEMIonen-Sputtern

Der Hitachi MC1000 Ionen-Sputter-Coater wurde nach den außergewöhnlichen Standards von Hitachi entwickelt und gebaut und ist bereit, in Ihrem Labor über Jahre hinweg zu funktionieren. Der MC1000 Ion Sputter Coater ist ein Probenvorbereitungsgerät für die Verwendung mit einem Rasterelektronenmikroskop (SEM). Der MC1000 ist für die Abscheidung einer dünnen Metallschicht, z. B. aus Platin (Pt), Gold (Au), einer Platin-Palladium-Legierung (Pt-Pd) oder einer Gold-Palladium-Legierung (Au-Pd), ausgelegt, um die Oberfläche einer Probe elektrisch leitfähig zu machen und eine Aufladung während der Beobachtung im REM zu vermeiden. Die Dicke der Metallabscheidung kann mit Hilfe der LCD-Touchscreen-Steuerung von einigen Nanometern bis zu mehreren zehn Nanometern variiert werden. Es können bis zu 5 Bearbeitungsbedingungen gespeichert werden. Das MC1000 arbeitet mit einer Magnetron-Elektrode, d. h. ein Magnet ist in das Target (negative Elektrode) integriert, um ein Magnetfeld zu erzeugen, das senkrecht zum elektrischen Feld auf der Target-Oberfläche steht. Dies minimiert die Beschädigung der Probe durch die Bestrahlung mit sich schnell bewegenden Teilchen (einschließlich reflektierter Ionen) und ermöglicht eine Beschichtung mit hoher Granularität (Teilchen mit kleinerem Durchmesser). - One-Touch-Bedienung über das LCD-Touchpanel - Speichert und ruft bis zu 5 Rezepte ab - Die Magnetron-Elektrode verringert die Beschädigung der Proben und reduziert die durchschnittliche Partikelgröße - Optionale Kammer für Proben mit einem Durchmesser von bis zu 150 mm (6 Zoll) - Optionaler Abstandshalter für Proben mit einer Höhe von bis zu 45 mm (1,75 Zoll) - Hauptventil, um die Kammer unter Vakuum zu halten, wenn sie nicht benutzt wird