Schichtdickenmesssystem

Gewicht3Dfür Platten

Schichtdickenmessung und Qualitätskontrolle Der Plattenmesstisch erlaubt eine schnelle Bestimmung der Ätzverteilung nach den Differenzätzprozessen oder dem galvanischen Schichtaufbau von Kupferoberflächen. Die Messungen werden nach Eingabe der Eingangsparameter vollautomatisch von einem resistiven Sensor durchgeführt. Anschließend werden die Messpunkte von einem PC ausgewertet und in ein 3D-Diagramm mit Statistik-Tool umgewandelt. Präzise und wiederholbar: Die vollautomatische Messung verhindert manuelle Handhabungs- und Bedienungsfehler Schnell: 100 Messpunkte in 3,5 min Flexibel: für verschiedene Plattenformate geeignet Qualitätskontrolle von Ätz- und Galvanikprozessen Prozessabweichungen sind leicht zu erkennen und zu korrigieren Weniger Yield-Verlust durch frühzeitige Erkennung Abmessungen: 1200 x 1120 x 1210 mm (L x B x H) Gewicht: 200 kg Max. Plattengröße: 650 x 650 mm Messbereich: Kupferstärken 1 μm – 120 μm Messtoleranzen: 0,1 μm – 10 μm Cu-Schicht 0,1 μm – 5 μm: ± 0,075 μm Cu-Schicht 5 μm – 10 μm: ± < 1,5 % 5 μm – 120 μm Cu-Schicht 5 μm – 50 μm: ± 0.5 μm Cu-Schicht 50 μm – 80 μm: ± < 1 % Cu-Schicht 80 μm – 120 μm: ± < 2 %