Eigenschaften:
1. hochwertige UVausschnittquelle
2. hohe Ausschnittqualität
3. hohe Ausschnittzuverlässigkeit
4. kleine thermische betroffene Zone
5. ausgezeichnete Ausschnittqualität
Parameter:
1. Wellenlänge: 355 Nanometer
2. Laser-Energie: 5 W
3. Positionierung von Genauigkeit: ±4μm
4. Entschließung der kratzenden x-ylehre: 0.1μm
5. Präzision der z-Mittellinie: ±1μm
6. Präzision der Drehachse: ±20 ″
7. CCD, das Präzision in Position bringt: 1-2μm
8. wiederholbare in Position bringenpräzision: ±1μm
9. Schnitt der linearen Breite: von μm 20 bis 30
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