Fördersystem für Transport

Fördererautomatisiert

Mit unserem automatisierten Rollenförder-Transportsystem für Reinräume gehört der manuelle Wafer-Transport in Halbleiterfabriken der Vergangenheit an. Der automatisierte Materialtransport bis zur Prozessanlage spart wertvolle Operator-Zeit, verkürzt Durchlaufzeiten und erhöht somit die gesamte Produktionseffizienz. Intelligent gesteuertes Conveyor-Transportsystem für die Halbleiterindustrie Der reinraumgerechte Rollenförderer kann unterschiedliche Varianten von Transportboxen wie FOUPs, SMIF Pods, HA200-Boxen, offene Wafer-Kassetten und kundenspezifische Wafer-Boxen transportieren. Die in Zonen angeordneten, separat angesteuerten Antriebsmotoren des Rollenförderer -Transportsystems ermöglichen den kollisionsfreien automatisierten Transport. Die Transportgüter können somit in den Sektionen unterschiedlich beschleunigt oder verzögert werden. Um eine Synchronisation der Antriebsseite mit den passiven Laufrollen sicherzustellen, sind die Rollen in regelmäßigen Abständen mit Hohlwellen verbunden. Durch vielseitige Kombination von Strecken-, Lift- und Drehelementen können sehr individuelle Wafer-Transportlösungen für Halbleiterfabriken realisiert werden. Insbesondere dann, wenn es darum geht, wenig Platz optimal zu nutzen, bietet das System beste Möglichkeiten. Auch die Verbindung mehrerer Produktionsebenen einer Fabrik ist mit diesem Transportsystem möglich. Zusätzliche Arbeitsschritte wie das Auslesen der Carrier-IDs und Wafer-IDs, die Verifizierung (Mapping) und das Ausrichten (Aligning) der Wafer können zeitsparend in den Transportprozess integriert werden – überall in der Transportstrecke.