Automatisches Lager- und Handlingsystem EUV

Die Handlingsysteme für EUV-Reticle von Fabmatics erfüllen Anforderungen wie Zuverlässigkeit und Sauberkeit im EUV-Reticle-Handling. Die EUV-Technologie als spezielle Belichtungstechnologie zur Herstellung von Highend-Mikroelektronikbauelemente stellt höchste Anforderungen an die Zuverlässigkeit und Sauberkeit des Handlings von EUV-Reticle. Diesem Anspruch werden die Lösungen von Fabmatics gerecht. Handling-Systeme für EUV-Reticle sind sowohl als Standalone-Geräte, z. B. als Reticlesorter, als auch als Equipment-Front-Module, z. B. als Beladesystem, verfügbar. Ein Fabmatics-Loadport für RSP-Pods und Dual-Pods, verschiedenste Detektionsmodule, Greifer und Flipeinrichtungen sind dabei wesentliche Bestandteile.