Pirani-Vakuummeter BPG402

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BPG402 ATM bis Ultra-Hochvakuum-Messgerät Das INFICON Bayard-Alpert Pirani Kombinations-Messgerät BPG402-S funktioniert als zwei Messgeräte in einer kompakten Einheit, die von 5×10-10 mbar bis zur Atmosphäre (3,8×10-10 Torr bis Atmosphäre) misst. Die Kombination von Technologien reduziert die Komplexität der Installation, Einrichtung und Integration. Wählen Sie den BPG402-S mit zwei Yttriumoxid-beschichteten Iridiumfilamenten für kostengünstige und wiederholbare Prozess- und Basisdruckmessungen in einem kostengünstigen Paket. Sensorelemente mit integrierten Kalibrierdaten garantieren eine hohe Reproduzierbarkeit beim Austausch von Sensoren. Vorteile Extrem großer Messbereich von 5×10-10 mbar bis zur Atmosphäre (3,8×10-10 Torr bis zur Atmosphäre) Hervorragende Wiederholbarkeit im Prozessdruckbereich von 10-8 ... 10-2 mbar von 5% Pirani-Verriegelung schützt den Glühfaden vor vorzeitigem Ausbrennen Zwei langlebige Yttriumoxid-beschichtete Iridiumfäden Optionale Grafikanzeige und Feldbus-Schnittstellen verfügbar Automatische Hochvakuum-Pirani-Einstellung reduziert Bedienereingriffe Leicht austauschbares Sensorelement mit integrierten Kalibrierdaten garantiert hohe Reproduzierbarkeit RoHS-Konformität Typische Anwendungen Druckmessung in Halbleiterprozess und Transferkammern Industrielle Beschichtung Allgemeine Vakuummessung und -regelung im Nieder- bis Ultrahochvakuumbereich