Linearachse mit Linearmotor EZ-5504

Präzisionkompaktregelbar

Mit der Fokusachse EZ-5504 hat EITZENBERGER ein völlig neues und innovatives Achskonzept umgesetzt. Kompakte Abmaße von 99 x 99 x 80 mm (L x B x H) und eine zentrale, durchgehende Öffnung von ca. 35 mm für optische Komponenten sind die äußeren Merkmale. Die Slip-Stick-freie Luftlagerung ermöglicht über den gesamten Hubbereich von 18 mm höchste Präzision und eine Wiederholgenauigkeit im Nanometerbereich. Besonders hervorzuheben ist neben dem extrem geringen Positionsfehler auch der geringe Kippfehler der Achse. Die Fokusachse ist permanentmagnetisch gewichtskompensiert und für eine Nutzlast von 250 g ausgelegt. Die Gewichtskompensation ist für Massen von 50 bis 300 g einstellbar. Über einen Voice Coil Motor kann die Fokusachse dynamisch bewegt werden. Als Messsystem wird ein Renishaw-Messkopf mit einer Auflösung von 1 nm und einer BiSS-Schnittstelle verwendet. Einsatzgebiete: Die Fokusachse eignet sich für hochpräzise Anwendungen in den Bereichen Lithographie, Maskenbelichtung, Scananwendungen oder allgemein zur Positionierung von Optiken und Sensoren. Durch die kompakten Abmessungen und das geringe Systemgewicht lässt sich die Achse problemlos in viele Anwendungen integrieren. Die Luftlagerung sowie die verwendeten Materialien prädestinieren die Fokusachse für Reinraumanwendungen.