XY-Tisch EZ-0745-ZC

ZdrehbarLuftkissen

Die luftgelagerte ZC-Achse EZ-0745 ist für die Integration in eine XY Stage (z.B. EZ-0715) konzipiert. Durch die hochintegrierte Bauweise ist nur eine geringe Bauhöhe von ca. 138 mm erforderlich. Der Drehwinkel ist auf ± 3° begrenzt. Die hohe Wiederholgenauigkeit von ± 1,5 μrad ermöglicht eine sehr präzise Ausrichtung des Substrats. Die Z-Achse ist durch 2 Luftlagerpads gegen Verdrehen gesichert und wird durch 2 gegenüber- liegende Voice Coil Motoren dynamisch angetrieben. Die Gewichtsentkopplung erfolgt über einen integrierten, luftgelagerten Pneumatikzylinder. Eine kundenspezifische Anpassung des Z-Hubs ist möglich.