Vakuumkammer für Ultrahochvakuum VC M800²

für Oberflächeninspektion

Unsere Vakuumkammer VC M800² besteht aus unserem neuen modularen Kammersystem. Das System besteht aus einzelnen, aus vollem Aluminium gefrästen Modulen mit einer Breite von 500mm. Somit kann die Länge der Kammer in 500mm Schritten variabel festgelegt werden. Die Vorteile, die sich aus diesem System ergeben, sind enorm: ✓ Kostengünstig ✓ Geringes Gewicht ✓ Geringe Desorption des Aluminiums, daher auch für Hochvakuum geeignet ✓ Wunschfarbe ist durch eloxieren möglich ✓ Sehr gute Wärmeleitung ✓ Sehr saubere Prozesse möglich, z.B. im Halbleiterbereich ✓ Einfache Bearbeitung möglich ✓ Kein Schweißen nötig, Teile können einfach angebracht werden Spezifikationen der Vakuumkammer Innenmaße Länge: 1000 mm (modular in 500 mm Schritten) Breite: 800 mm Höhe: 800 mm Volumen ca. 640 Liter Anschlüsse 2 x KF 16 6 x KF 40 1 x ISO K 63 1 x ISO K 160 Zusätzliche Flansche in beliebiger Position möglich Türe Scharniertüre mit Schauglas Diener electronic bietet nicht nur zukunftsweisende Lösungen für Vakuumkammern, sondern ebenso: Niederdruck Plasmaanlagen zur Oberflächenbehandlung Atmosphärendruck Plasmaanlagen zur Oberflächenbehandlung Parylene-Beschichtungsanlagen Vakuum-Komplettsysteme und Anlagen für verschiedenste Einsatzbereiche Test-Tinten zur Bestimmung der Oberflächenspannung Plasmaindikatoren zum Nachweis einer erfolgreichen Plasmabehandlung Plasmageneratoren