Thermoelement / schnellansprechend / federnd / kostengünstig

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Eigenschaften

  • Technologie:

    mit Thermoelement

  • Weitere Eigenschaften:

    schnellansprechend, federnd, kostengünstig

Beschreibung

Die Ionenimplantation ist ein kritischer Schritt bei der Herstellung von Halbleitern. Die hochenergetische Implantation kann den Wafer erwärmen und Probleme verursachen, die zu einer Ertragsminderung führen. Die Überwachung der Temperatur von Wafern während der Implantation ist erforderlich, um die erforderliche Menge an Waferkühlung zu bestimmen.

Thermoelemente mit kleinem Durchmesser, schnell ansprechend und federbelastet, wie sie oben gezeigt werden, sind eine kostengünstige und zuverlässige Möglichkeit, die Temperatur des Ionenimplantationswerkzeugs zu überwachen.

Dies ist eine automatische Übersetzung.  (Sehen Sie hier den englischen Originaltext.)