Excimer-Lasersystem LineBeam

PulsFestkörperultraviolett

LineBeam Systeme sind die optische Schlüsseltechnologie für die Massenfertigung von LTPS-Backplanes auf großen Substratplatten mit höchster Ausbeute. Liefern Sie Linienträgerprofile bis 1500 mm Länge für Plattengrößen bis Generation 10.5. Verfügen über Kurz- und Langachsen-Strahlhomogenität für maximalen Durchsatz und Strahlausnutzung. Hervorragende Pulsstabilität und hohe Tiefenschärfe, um ein großes Prozessfenster zu gewährleisten LINEBEAM – WICHTIGE LEISTUNGSKENNZAHLEN Profitieren Sie vom Rechteck-(“Top-Hat“) Strahlprofil der LineBeam Systeme mit hervorragender Homogenität in der kurzen und langen Achse, und das bei einer kurzen Wellenlänge von 308 nm oder 355 nm.