Schrauben-Vakuumpumpe COBRA BC 0200 F

trockenkompakt

Hochmoderne Schrauben-Vakuumtechnologie: glockenförmige Konstruktion, patentierte selbstausbalancierende Schrauben Effizient: niedrige Betriebskosten, energieeffizient, minimale Wartung, hohe Verfügbarkeit Zuverlässig: betriebssicher Flexibel: anwendungsorientiert Leise: Schalldruckpegel < 58 dB(A) Kompakte Konstruktion Die COBRA BC 0100/0200 F sind trockene Schrauben-Vakuumpumpen aus der bewährten Baureihe COBRA BC. Die hochmoderne Schrauben-Vakuumtechnologie mit ihrem speziell entwickelten Schraubenprofil setzt neue Standards in punkto Effizienz und macht diese Vakuumpumpen zur idealen Lösung in Schleusen- und Transferkammern sowie anderen Prozessen in Metrologie, Lithografie, PVD-Beschichtung und Rapid Thermal Annealing (RTA). Durch die fortschrittliche, freitragende, glockenförmige Konstruktion ist der Doppelrotor mit asymmetrischen Schrauben lediglich motorseitig befestigt. Die besondere „fliegende Lagerung“ macht Einlasslager überflüssig. Das Fördermedium kommt daher nicht mit den Lagern in Kontakt. Hierdurch wird eine saubere Vakuumerzeugung gewährleistet, und die geförderten Gase können vollständig rückgewonnen werden. Durch den direkten Gasweg zwischen Ein- und Auslass entstehen keine Toträume, und der Verdichtungsraum bleibt frei von Prozessablagerungen. Die patentierte Konstruktion mit selbstausbalancierenden Schrauben und dem präzise im Schwerpunkt montierten Schraubenrotor gewährleistet hervorragende Laufeigenschaften und hohe Verfügbarkeit. Durch den direkt montierten Spaltrohrmotor weisen die Vakuumpumpen der Baureihe COBRA BC sehr kompakte Abmessungen auf.