Effizient:
niedrige Betriebskosten, lange Laufzeit, energieeffizient
Einfache Wartung:
lange Wartungsintervalle
Zuverlässig:
betriebssicher
Flexibel:
anwendungsorientiert
Leise:
Schalldruckpegel < 62 dB(A)
Die COBRA BC 1000 F und BC 2000 F sind zwei trockene Schrauben-Vakuumpumpen der bewährten Baureihe COBRA BC. Mit ihren großen Saugvermögen und dem hohen Wasserstoffdurchsatz eignen sie sich für alle schwierigen Prozesse im Bereich der Solarzellen-, Flachbildschirm- und Halbleiterproduktion. Die öl- und berührungsfrei verdichtende Schraubentechnologie der COBRA ermöglicht auch das Absaugen von pulver- und partikelhaltigen Medien.
Die Baugrößen der COBRA BC 1000 F und BC 2000 F haben standardmäßig eine Boosterpumpe integriert, die höhere Saugvermögen und Enddrücke garantiert. Vorpumpe und Boosterpumpe sind auf einem kompakten Grundrahmen kombiniert.
Die COBRA BC 1000 F und BC 2000 F sind mit hocheffizienten Motoren mit Stand-by-Modus ausgestattet und bieten dadurch bestmögliche Energieeinsparpotentiale.
Durch die kompakte Bauweise und den damit verbundenen geringen Platzbedarf sowie den geringen Energieverbrauch sind die Betriebskosten der COBRA BC äußerst niedrig. Die hohe Lebensdauer der COBRA BC Vakuumpumpen senkt die Gesamtkosten weiter. Eine Nachrüstung bestehender Anlagen mit COBRA BC Schrauben-Vakuumpumpen ist einfach und schnell durchzuführen.
Anwendungen
High-density-plasma CVD (HDP-CVD)
Rapid thermal processing (RTP)
Sub-atmospheric-CVD (SACVD)
Metal-organic-CVD (MOCVD)
Plasma-enhanced-CVD (PECVD)
Low-pressure-CVD (LPCVD)
Atomic-layer-deposition (ALD)
Load-Lock-Anwendungen