Schrauben-Vakuumpumpe COBRA BC 0600 F

trockenkompakt

Effizient: niedrige Betriebskosten, lange Laufzeit, energieeffizient Einfache Wartung: lange Wartungsintervalle Zuverlässig: betriebssicher Flexibel: anwendungsorientiert Leise: Schalldruckpegel < 62 dB(A) Die COBRA BC 0600 F ist eine bewährte trockene Schrauben-Vakuumpumpe aus der COBRA BC-Serie. Sie bietet ein herausragendes Saugvermögen für anspruchsvollste Solar-, Flachbildschirmund Halbleiteranwendungen. Dank ihrer einzigartigen Schraubenkonstruktion eignet sich die COBRA BC auch bestens für das Absaugen von pulver- und partikelhaltigen Medien. Die bewährte Konstruktion vereinigt die Kombination Vorpumpe/WalzkölbenVakuumpumpe in einem gemeinsamen, kompakten Rahmen. Die Vakuumpumpen der COBRA-Serie sind äußerst wirtschaftlich. Hochleistungsmotoren und ein Energiesparmodus erhöhen ihre Energieeffizienz. Zusätzliche Einsparungen bringen die besonders hohe Verfügbarkeit und der geringe Platzbedarf, der in vielen Fällen die Nachrüstung vereinfacht. Anwendungen Load lock (conditional) Transfer Metrology Lithography Physical Vapor Deposition (PVD) Rapid Thermal Annealing (RTA) Strip/Ashing Oxide Etch Silicon Etch Metal Etch Technische Ausführung Technische Ausführung Die COBRA BC 0600 F ist eine einstufige, zweiwellige Schrauben-Vakuumpumpe. Im Zylinder rotieren zwei Schraubenrotoren. Das Fördermedium wird zwischen den einzelnen Schraubenwendeln eingeschlossen, verdichtet und zum Gasauslass transportiert. Die beiden Schraubenrotoren berühren beim Verdichtungsprozess weder sich gegenseitig noch den Zylinder. Dadurch sind keine Schmierung und somit keinerlei Betriebsmittel im Verdichtungsraum notwendig.