TURBO TM 1100 - 2200 A
Turbo sind die Turbomolekular-Vakuumpumpen von Busch. Sie wurden für industrielle Hochvakuum-Anwendungen entwickelt und sind für Anwendungen im Hochvakuum bis 1·10-10 hPa (mbar) und hohe Saugvermögen bzw. Gasdurchsätze konzipiert. Die Gasförderung erfolgt völlig frei von Betriebsmitteln.
Selbst durch höchste Belastungen und ungewollte Gaseinbrüche wird das hohe Saugvermögen von Turbo Vakuumpumpen nicht beeinträchtigt. Der Betrieb der Vakuumpumpen ist in jeder beliebigen Einbaulage möglich. Die kompakte Rotorenkonstruktion ist in ihrer Klasse unübertroffen und verbindet höchste Förderleistung mit kleinsten Abmessungen.
Die Antriebs- und Steuerungseinheit ist vollständig in das Pumpengehäuse integriert. Ein Sperrgas- und Spülanschluss gehört zum Standardlieferumfang. '
Turbo Vakuumpumpen sind ideal für den Einsatz in vielen industriellen Hochvakuumanwendungen, wie:
Vakuumöfen
Oberflächenbehandlung
Beschichtungsanlagen
Physikalische Aufdampfung (PVD)
Dünnfilmbeschichtung
Technische Ausführung
Technische Ausführung
Turbo Turbomolekular-Vakuumpumpen arbeiten nach dem Turbinenprinzip. Schnell drehende Rotorblätter drehen sich dabei zwischen den Statorenblättern. Dadurch werden auf die ungeordneten Gasteilchen im Innern der Vakuumpumpe
Impulse ausgeübt, die zu einem kontrollierten Gasstrom vom Einlass zum Auslass der Vakuumpumpe führen. Zur Erzeugung dieses Moments erreichen die Rotoren eine Umfangsgeschwindigkeit von >30.000 min-1.