Poliermaschine für Metall POLI-500
halbautomatischPräzisionDrehtisch

Poliermaschine für Metall
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Eigenschaften

Bearbeitetes Material
für Metall
Weitere Eigenschaften
halbautomatisch, Präzision, Drehtisch, mechanisch, chemisch

Beschreibung

POLI-500 ist eine kleine 8-Zoll-Chemie-Poliermaschine, die manuell beladen wird, optional mit einer halbautomatischen Ladepalette ausgestattet werden kann, einen Membran-Airbag zur flexiblen Erhöhung des Drucks verwendet und mit einem System zur Überwachung der Reibungskraft und der Temperatur am Endpunkt ausgestattet werden kann. Sie wird zum Planarisierungspolieren von Oxiden, Metallen, STI, SOI, MEMS und anderen Produkten verwendet. Die Anwendungen sind vielfältig. Vollständige Funktionen Setzen Sie Membran Gegendruck auf den Wafer, Polierplatte hat eingebautes Kühlsystem, Schwenkarm Abrichter und Reibung & Temperatur-Erkennung Endpunkt Überwachungsfunktion ist optional. Einfache Bedienung PC-Steuerungssystem, Touchscreen-Steuerung, halbautomatische Ladepalette ist optional, Ein-Knopf-automatische CMP Polieren. Gute Kompatibilität 3 unabhängige Schlammzufuhrleitungen, leicht austauschbare Polierplatte, austauschbarer 4, 6 & 8 Zoll Polierkopf, kompatibel mit verschiedenen Größen und Typen von Wafern. Geringe Stellfläche Minimieren Sie den Platzbedarf im Reinraum.

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* Die Preise verstehen sich ohne MwSt., Versandkosten und Zollgebühren. Eventuelle Zusatzkosten für Installation oder Inbetriebnahme sind nicht enthalten. Es handelt sich um unverbindliche Preisangaben, die je nach Land, Kurs der Rohstoffe und Wechselkurs schwanken können.