Überwachungssoftware AvaSoft-Thinfilm

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Die AvaSoft-Dünnschicht-Software ist ein eigenständiges Paket zur Steuerung des Systems und zur Durchführung von Messungen an Dünnschicht-Beschichtungen, das in unserem Dünnschicht-Paket enthalten ist. Die Software berechnet eine Schichtdicke aus dem Reflexionsinterferenzspektrum für optisch transparente Schichten mit bekannten optischen Parametern. In der AvaSoft-Thin-Film Software sind zwei verschiedene Methoden zur Berechnung von Dünnschichten implementiert: die Fast Fourier Transform (FFT) und der Best-Fit-Optimierungsalgorithmus (Match-Spektrum). Die FFT-Methode bestimmt die Frequenz des Interferenzmusters; sie wird meist für dicke Schichten verwendet. Die Optimierung des Anpassungsspektrums bestimmt die beste Anpassung für verschiedene Dickenberechnungen. Die Anpassungsparameter sind zur Überwachung der Anpassungsqualität und zur Beschleunigung der Datenverarbeitung einstellbar. Die Software enthält eine umfangreiche Datenbank mit den optischen Konstanten 'n' und 'k' von Substraten und Schichten. Die Datenbank enthält Substrat- und Beschichtungsmaterialien, die in wichtigen Anwendungsbereichen wie Halbleiter- und optischen Beschichtungen verwendet werden. Für AvaSoft-Thin-Film sind auch Zusatzmodule zur Prozesssteuerung und zum Export nach Excel erhältlich.