Sterilisator für Wasser PAP-B-10

ProzessOzonautomatisch

In der Halbleiterverarbeitung ist ein vollständig reines Ozonsystem unabdingbar. Jegliche Metalle und Teilchen, die während des Prozesses (Wafer/IMEC/RCA/SOM, etc.) aus dem Ozonsystems auf die Halbleiteroberflächen emittiert würden, würden die Qualität des Mikrochips beeinträchtigen. Einschließlich ihrer Komponenten – wie beispielsweise des Ozongenerators COM-AD oder des Ozonmonitors WM -, sind die Anseros Wassersysteme PAP-SC vollständig frei von Metallen in Kontakt mit Ozon. Sie sind geeignet für saubere Nass- und Trockenverarbeitung, gleichgültig, ob mit oder ohne Säuren. Zur Gewährleistung der Sicherheit umfasst das PAP-SC System einen Ozonzerstörer CAT-HO. ANWENDUNGEN + IMEC- und RCA-Reinigungsverfahren + UPW-Systeme + Advanced Oxidation Processes AOP + Drei-Phasen-Systeme + Biologischer Abbau DOC + Sterilisation + CIP-Reinigung TECHNISCHE DATEN DI-water flow: 100 … 2000 l/h DO3: 1 … 100 ppmw Material in contact with ozone: PFA, quartz