Proportionaler Durchflussregler MC

DifferenzdruckMassenfür Gas

Übersicht
Schnelle Massenflussregler, die laminar-differenzdruckbasierte (DP) Messtechnik zur automatisierten Messung und Steuerung von Gasen verwenden. Entwickelt für industrielle Prozesse und Forschungsanwendungen mit breiten Vollskalen-Volumen- und Druckoptionen, mehreren Serienvarianten für verschiedene Anwendungen und zahlreichen Kommunikations- und Aufbauoptionen.

Hauptmerkmale

• Laminar DP (Differenzdruck)-Massenflussmesstechnik
• Messen von Massenstrom, Volumenstrom, Temperatur und Druck
• 98–130 vorinstallierte Gaskalibrierungen (je nach Serie)
• Ultraschnelle Regelantwortzeiten ab 30 ms
• Mess- und Regelbereich bis zu 0,01% – 100% (10.000:1 Turndown) für einige Varianten
• Betriebsdruckbereiche von niedrigem Vakuum bis zu Hochdruckoptionen je nach Serie
• Begrenzte lebenslange Garantie

Leistungsdaten

• Vollskalen-Volumenbereiche: 0,5 SCCM – 12.000 SLPM (serien- und modellabhängig)
• Betriebsdruckbereich (Beispiele): 11,5 – 160 PSIA (typische MC-Serie), bis zu 320 PSIA für Hochdruckvarianten
• Genauigkeitsbeispiele: so gut wie ±0,5% des Messwerts oder ±0,1% der Skala (je nachdem, welcher Wert größer ist) für den Standard-MC; korrosionsbeständige Varianten erreichen ±0,4% des Messwerts und ±0,2% der Skala
• Regelantwort: so schnell wie 30 ms (einige Hochdruckvarianten 100 ms)

Verfügbare Serien und Einsatzzwecke

• MC Series — universelle laminar DP Massenflussregler; schnelle proportionale Regelung; breite Durchflussoptionen (0,5 SCCM – 12.000 SLPM)
• MCS Series — korrosionsbeständige Regler mit reduzierten benetzten Materialien; bis zu ~130 vorinstallierte kalibrierte Gase; Genauigkeitsbeispiele ±0,4% Messwert / ±0,2% Skala
• MCQ Series — Hochdruckregler für Prozesse mit höheren Drücken; Betrieb bis zu höheren PSIA-Werten mit entsprechenden Genauigkeitskompromissen
• BIOC Series — Regler für Bioreaktoren und Fermenter; ASME BPE-konform, langfristige Stabilität, konforme Materialien (inkl. USP Class VI Elastomere) und für Skalierbarkeit ausgelegt (10.000:1 Betriebsbereich)
• MCD Series — bidirektionale Massenflussregler mit zwei Ventilen zur Steuerung des Flusses in beide Richtungen
• MCT Series — Geräte zum Umschalten zwischen zwei Gasquellen (zwei Quellen, ein Gerät)
• MCW / MCWD — laminar DP MFCs mit geringem Druckabfall
• SFF / MCV — Optionen für Vakuumdrücke und SEMI-Footprint
• IS‑Max — eigensichere MFCs für explosionsgefährdete Atmosphären

Aufbauoptionen und Auswahlen
Kommunikationsprotokolle: RS-232 Seriell (Standard); RS-485 Seriell; Analog (4–20 mA, 0–10 Vdc, 0–5 Vdc oder 1–5 Vdc); Modbus RTU (über RS-232 oder RS-485); Modbus TCP/IP; DeviceNet; EtherCAT; EtherNet/IP; PROFIBUS; PROFINET; IO-Link
Displays: hintergrundbeleuchtet monochrom (Standard) oder TFT-Farbe; integriert oder als Panel; keine Anzeige
Prozessanschlüsse: 10-32, NPT, SAE, BSPP, VCRM, VCO, Kompressionsanschlüsse (Auswahl modellabhängig)
Schutzart: IP40 (Standard); optional IP66, IP67
Bewertungen für gefährdete Bereiche: Optionen für CSA Class 1 Div 2 und ATEX Class 1 Zone 2 (serien-/optionsabhängig)
Feuchte Gase: Relative Feuchtekompensation verfügbar
Messtechnik: Laminar differential pressure (laminar DP) Durchflusssensorik mit Temperatur- und Druckkorrektur

Typenblatt-Familien / Modellgruppen

• MC-Familie Spektren (niedrig / mittel / hoch Vollskalen-Gruppen decken 0,5–12.000 SLPM je nach Bereich)
• MCS-Familie Spezifikationen für korrosionsbeständige Optionen und deren Bereiche
• MCQ-Familie Spezifikationen für Hochdruckregleroptionen
• BIOC-Familie Spezifikationen für Bioreaktor-/Fermenter-spezifische Bereiche und Konformität

Zusätzliche Hinweise
Viele MC-Serien-Instrumente sind mit Optionen für Ex-Bereiche, unterschiedlichen Display- und Steckerverbindungen sowie einer breiten Palette von Kommunikationsprotokollen und Anschlüssen erhältlich. Die Geräte werden kundenspezifisch gefertigt mit wählbaren Kalibrierungs- und Genauigkeitsoptionen.

Technische Daten

• Messmethode: Laminar differential pressure (laminar DP) mit Temperatur- und Druckkorrektur
• Gemessene Größen: Massenstrom, Volumenstrom, Temperatur, Druck
• Vollskalen-Volumenbereiche: 0,5 SCCM – 12.000 SLPM (modellabhängig)
• Beispiele für gelistete Bereiche: 0,5 SCCM, 1 SCCM, 2 SCCM, 5 SCCM, 10 SCCM, 20 SCCM, 50 SCCM, 100 SCCM, 200 SCCM, 500 SCCM, 1 SLPM, 2 SLPM, 5 SLPM, 10 SLPM, 20 SLPM, 50 SLPM, 100 SLPM, 250 SLPM, 500 SLPM, 1.000 SLPM usw.
• Betriebsdruck: MC typisch 11,5 – 160 PSIA; MCQ bis 320 PSIA (variantenabhängig)
• Genauigkeit: bis zu ±0,4%–±0,6% des Messwerts oder ±0,1%–0,2% der Skala je nach Serie und Kalibrierung
• Regelbereich / Turndown: bis zu 10.000:1 für einige MC/BIOC-Varianten; andere 200:1 oder 1–100% je nach Serie
• Regelantwort: so schnell wie 30 ms; einige Hochdruckvarianten ~100 ms
• Vorkalibrierte Gase: typischerweise Dutzende bis über hundert (z. B. 98–130 je nach Serie)
• Displays: monochrom hintergrundbeleuchtet oder TFT-Farbe, integriert oder Panel-montierbar, oder kein Display
• Kommunikation: Analog, RS-232, RS-485, Modbus RTU, Modbus TCP/IP, DeviceNet, EtherCAT, EtherNet/IP, PROFIBUS, PROFINET, IO-Link
• Prozessanschlüsse: 10-32, NPT, SAE, BSPP, VCRM, VCO, Kompression (modellabhängig)
• IP-Optionen: IP40 standard; IP66 / IP67 optional
• Option Gefahrenbereich: -X build für CSA Class 1 Division 2 / ATEX Zone 2; IS-Max Serie eigensicher verfügbar für stärkere Gefährdungszonen